Branche
FS Logoi

Neues elektromotorisch betätigtes Regelventil

Die Halbleiterindustrie stellt hohe Anforderungen an die Ventil-, Mess- und Regeltechnik. Zunehmend reichen pneumatisch betätigte Ventile nicht mehr aus, um die Regelanforderungen führender Hersteller von Prozessequipment zu erfüllen. Aus diesem Grund hat der Ventilspezialist GEMÜ das elektromotorisch betätigte Regelventil GEMÜ C53 iComLine entwickelt. Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen […]

von | 23.09.20

ProEXR File Description =Attributes= channels (chlist) compression (compression): Zip dataWindow (box2i): [0, 0, 7999, 7999] displayWindow (box2i): [0, 0, 7999, 7999] lineOrder (lineOrder): Increasing Y nuke/full_layer_names (int): 0 nuke/node_hash (string): "7ec688ef1c2fbc11" nuke/version (string): "12.1v1" pixelAspectRatio (float): 1.000000 screenWindowCenter (v2f): [0.000000, 0.000000] screenWindowWidth (float): 1.000000 type (string): "scanlineimage" version (int): 1 =Channels= A (half) B (half) G (half) R (half) schatten.red (half)

Die Halbleiterindustrie stellt hohe Anforderungen an die Ventil-, Mess- und Regeltechnik. Zunehmend reichen pneumatisch betätigte Ventile nicht mehr aus, um die Regelanforderungen führender Hersteller von Prozessequipment zu erfüllen. Aus diesem Grund hat der Ventilspezialist GEMÜ das elektromotorisch betätigte Regelventil GEMÜ C53 iComLine entwickelt.
Das 2/2-Wege Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, bei der Antrieb und Medium durch einen konusförmigen Regelkegel aus beständigem PTFE getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen kundenspezifisch angepasst werden können, erfüllt GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der hochtechnologisierten Halbleiterindustrie. Durch die Kombination des präzisen Schrittmotors mit hochreinen Körperwerkstoffen eignet sich das Ventil insbesondere für Lithographie-, CMP-, und Ätzprozesse sowie für Anwendungen im Analytik-Bereich in jeder Halbleiterfertigung.

Das Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine kann dabei nicht nur als einfaches Durchgangsventil verbaut werden. Eine Integration in einen M-Block GEMÜ PC50 iComLine ist ebenfalls möglich, um komplexe Fließschemen auf minimalem Raum zu realisieren. Bei der Bearbeitung von Silizium-Wafern kann ein Mehrwegeventilblock beispielsweise in FOUP-Cleaner zur Temperaturregelung des DI-Wassers eingesetzt werden. Dazu können in den M-Block GEMÜ PC50 iComLine Rückschlagventile und Sensoren integriert werden.

Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil für hochreine Prozesse

Bildquelle, falls nicht im Bild oben angegeben:

Jetzt Newsletter abonnieren

Die wichtigsten Branchen-News, regelmäßig in Ihrem Postfach.

Hier anmelden

PRIMUS Award IAD

PRIMUS Award 2025

Bewerben Sie sich für den Titel „Produkt des Jahres“

Hier anmelden

Zahl der Woche: 80
Zahl der Woche: 80

Jeden Montag blickt industriearmaturen.de auf eine markante Zahl, die in der vergangenen Woche besonders aufgefallen ist. In dieser Woche steht die Zahl im Zusammenhang mit dem geplanten Stellenabbau beim Bremer Armaturenhersteller Gestra.

mehr lesen
Membranventil mit verbesserter Technologie präsentiert
Membranventil mit verbesserter Technologie präsentiert

Mit dem GEMÜ D40 stellt der Ventilhersteller GEMÜ ein neues Membranventil vor, das auf aktuelle Anforderungen im Markt abgestimmt wurde. Das Ventil verfügt über eine weiterentwickelte Membrantechnologie und ein überarbeitetes Design, das zur Verbesserung der Anlagenleistung beitragen kann.

mehr lesen

Sie möchten unser Fachmagazin „Industriearmaturen & Dichtungstechnik“ unverbindlich testen?

Bestellen Sie Ihr kostenloses Probeheft

Überzeugen Sie sich selbst: Gerne senden wir Ihnen „Industriearmaturen & Dichtungstechnik“ kostenlos und unverbindlich zur Probe!

IAD 02 2025 Cover Klein