Der Massendurchflussregler VEFC des Herstellers Festo eignet sich speziell für die präzise Steuerung von inerten Gasen. Durch den Einsatz von Piezotechnologie bietet er eine kompakte Konstruktion und flexible Einsatzweise.

Die Armatur eignet sich im Besonderen für die Anwendung in der Elektronikfertigung, bei der Nahrungsmittelherstellung und überall dort im Maschinenbau, wo Schutzgas benötigt wird.

Anwenderfreundlicher Massendurchflussregler bei kompakter Bauweise

Trotz seiner geringen Größe bietet der VEFC einen Durchfluss von 200 l/min. Durch Digitalisierung kann der Durchfluss dabei konstant gehalten werden. Damit müssen Anwender das dynamische, direkt gesteuerte Piezoventil für inerte Gase nicht von Hand nachstellen. Die Durchflussraten und -einstellungen lassen sich in Millisekunden genau und manipulationssicher anpassen. Anwender sind damit flexibel in ihren Fertigungsprozessen. Mit VEFC können sie den Prozess durch zeitgleiche Kenntnis von Durchfluss und Ausgangsdruck kontinuierlich überwachen.

Alternative für die Stickstoffregelung

In der Semicon-Industrie im Speziellen ist eine zuverlässige Regelung des Massenstroms von inerten Gasen wie Stickstoff notwenidig, um Defekte auf Wafern zu vermeiden. Mit dem Fokus auf inerte Gase ohne Medientrennung erweist sich der VEFC bei der Regelung von Stickstoff in Loadports oder EFEMs als Alternative zu anderen Lösungen am Markt.

Mit dem Festo-Massendurchflussregler im Loadport lassen sich unterschiedliche Durchflüsse in den einzelnen Purge-Steps regeln. Bei Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge und Post-Purge gewährleistet VEFC, dass Prozesse nur die unbedingt notwendige Stickstoffmenge verbrauchen. So sparen Anwender Stickstoff und verkürzen die Prozesszeit, bis die trockene Schutzgasatmosphäre erreicht ist.