Das Ingelfinger Technologieunternehmen GEMÜ hat sein erstes 3/2-Wege Membransitzventil für hochreine Anwendungen entwickelt. Das neue C58 iComLine verfügt über einen Zulauf und zwei mögliche Ausgänge.
Zudem ist der Betrieb in entgegengesetzter Durchflussrichtung möglich und die Schaltstellung kann über eine optische Sichtanzeige detektiert werden.
Einsatz in der Halbleiterindustrie
Das neue 3/2-Wege Membransitzventil eignet sich für hochreine und aggressive Medien. Alle medienberührenden Teile bestehen aus reinem und sehr beständigem PTFE. Es ist insbesondere für Anwendungen im Prozessbereich sowie auf der Verteilerebene einer Halbleiterfertigung geeignet.
Seit vielen Jahren wird die Baureihe iComLine von GEMÜ in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Die Produkte können in unterschiedlichen Anwendungsbereichen zum Einsatz kommen.